[发明专利]机电干涉测量调制器器件

摘要

本公开提供了用于机电系统的系统、方法和装置。在一个方面，机电干涉测量调制器系统包括基板和多个干涉测量调制器（IMOD）。至少两个不同的IMOD类型对应于不同的所反射颜色。每个IMOD具有光学叠层、吸收器层、可移动反射层（其中可移动反射层至少具有打开和塌陷状态）、以及在打开状态中在可移动反射层与光学叠层之间限定的空气间隙。光学叠层藉由不同的透明层厚度和/或材料来为不同IMOD类型中的每个IMOD类型定义不同的光程长度，而空气间隙在打开状态中具有相同的大小。IMOD在关闭状态中反射不同的颜色并且在打开状态中反射共同的外观。两个吸收器的使用辅助定义打开状态中的共同外观并且还可提高颜色饱和度。

主权项

一种机电干涉测量调制器（IMOD）系统，包括：基板；包括在所述基板上形成的第一光学叠层的第一IMOD，其中所述第一光学叠层包括：第一吸收器层；第一可移动反射层，其中所述第一可移动反射层至少具有第一打开状态和第一塌陷状态；以及在所述第一打开状态中在所述第一可移动反射层与所述第一光学叠层之间限定的第一间隙；包括在所述基板上形成的第二光学叠层的第二IMOD，其中所述第二光学叠层包括：第二吸收器层；第二可移动反射层，其中所述第二可移动反射层至少具有第二打开状态和第二塌陷状态；以及在所述第二打开状态中在所述第二可移动反射层与所述第二光学叠层之间限定的第二间隙；其中所述第二IMOD在所述状态之一中对应于与所述第一IMOD不同的所反射可见波长，所述第二光学叠层定义不同于所述第一光学叠层的光程长度，并且分别在所述第一和第二打开状态中的所述第一间隙和所述第二间隙具有相同的大小。