[发明专利]研磨剂的回收方法和研磨剂的回收装置在审
| 申请号： | 201180066782.3 | 申请日： | 2011-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN103347656A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 石井庆一郎;日冲正司 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B01D63/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王灵菇;白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够在抑制压力损失的增大或因膜闭塞所导致的回收率大幅度降低的同时、可以回收研磨剂被高浓度地浓缩的料浆的研磨剂回收装置和研磨剂的回收方法。本发明提供研磨剂的回收装置（1），其为从CMP工序中使用的使用过的研磨料浆中回收研磨剂的装置（1），其具有导入使用过的研磨料浆的孔道为圆筒状的分离膜（41），分离膜（41）的孔道的有效过滤部的长度为0.8m以下，研磨剂的回收装置（1）将所述使用过的研磨料浆的研磨剂浓度浓缩至浓度为10质量%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨剂的回收装置，其特征在于，其为从CMP工序中使用的使用过的研磨料浆中回收研磨剂的装置，所述研磨剂的回收装置具有用于导入所述使用过的研磨料浆的孔道为圆筒状的分离膜，所述分离膜的孔道的有效过滤部的长度为0.8m以下，所述研磨剂的回收装置将所述使用过的研磨料浆的研磨剂浓度浓缩至浓度为10质量%以上。
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