[发明专利]用于形状记忆合金线的晶片级集成的方法无效
申请号: | 201180066886.4 | 申请日: | 2011-11-22 |
公开(公告)号: | CN103502138A | 公开(公告)日: | 2014-01-08 |
发明(设计)人: | S·布劳恩;F·尼克劳斯;A·菲舍尔;H·格拉丁 | 申请(专利权)人: | 空气传感公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B23K20/00;B81C1/00;H01L23/49 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 马丽娜;王忠忠 |
地址: | 瑞典德*** | 国省代码: | 瑞典;SE |
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摘要: | 本发明涉及将形状记忆合金线附着到基板的方法,其中所述线被机械地附着到基板上的3D结构中。本发明也涉及包括附着到基板的形状记忆合金线的装置,其中所述线被机械地附着到基板上的3D结构中。 | ||
搜索关键词: | 用于 形状 记忆 合金 晶片 集成 方法 | ||
【主权项】:
将线附着到基板的方法,其特征在于:所述线被机械地附着到基板上的3D结构中。
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