[发明专利]编码器、光学模块和伺服系统

摘要

[问题]为了提供一种能够改进检测精度的编码器、光学模块和伺服系统。[技术方案]提供了包括沿着测量轴布置的多个反射狭缝的狭缝阵列（SA1、SA2）以及能够在面对狭缝阵列的一部分的同时在测量轴（C）上相对移动的光学模块（130），其中光学模块包括用光照射狭缝阵列的光源（131）和包括沿着测量轴并排布置的多个光接收元件并且在与狭缝阵列平行的平内面布置在点光源周围的光接收阵列（PA1、PA2、PI1、PI2），光接收元件分别接收从点光源照射的并且从反射狭缝反射的反射光，光源（131）和光接收阵列（PA1、PA2、PI1、PI2）被布置为光源（131）与光接收阵列（PI1、PI2）之间的最短距离（d1）小于光源（131）与光接收阵列（PA1、PA2）之间的最短距离（d2）。

主权项

一种编码器，所述编码器包括：狭缝阵列，所述狭缝阵列包括沿着测量轴并排布置的多个反射狭缝；以及光学模块，所述光学模块能够在面对所述狭缝阵列的一部分的同时相对于所述狭缝阵列在所述测量轴上进行相对移动，其中：所述光学模块包括：点光源，该点光源对所述狭缝阵列的一部分照射光；以及光接收阵列，所述光接收阵列包括多个光接收元件，所述多个光接收元件沿着所述测量轴并排布置并且在平行于所述狭缝阵列的平面上布置在所述点光源周围，所述光接收元件分别接收从所述点光源照射并且从所述反射狭缝反射的光，所述光接收阵列包括：第一光接收阵列，所述第一光接收阵列被构造为接收来自在所述测量轴方向上具有增量图案的狭缝阵列的反射光并且输出增量信号；以及第二光接收阵列，所述第二光接收阵列被构造为接收来自在所述测量轴方向上具有绝对图案的狭缝阵列的反射光并且输出绝对信号，并且所述点光源、所述第一光接收阵列和所述第二光接收阵列被布置为所述点光源与所述第一光接收阵列之间的最短距离小于所述点光源与所述第二光接收阵列之间的最短距离。