[发明专利]用于制备硅烷的方法和系统有效
| 申请号： | 201180068094.0 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103384640A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | P·古普塔;H·F·厄尔克;A·格拉贝 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B6/04 | 分类号： | C01B6/04;C01B33/04;C01B33/107;C25B1/14;C25B1/18 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张蓉珺;林柏楠 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于使用电解以使其中的反应性组分再生而制备硅烷的方法和系统。该方法和系统可以为关于卤素、碱或碱土金属和/或氢气的基本闭环。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 硅烷 方法 系统 | ||
【主权项】：
由碱或碱土金属卤化物盐来源制备硅烷的方法，所述方法包括：将碱或碱土金属卤化物盐电解以产生金属碱或碱土金属和卤素气体；使金属碱或碱土金属与氢气接触以产生碱或碱土金属氢化物；通过使卤素气体与至少一种如下组分接触而制备包含至少一种选自四卤化硅、三卤硅烷、二卤硅烷和一卤硅烷的卤代硅烷的卤化硅进料气体：(1)与硅接触以产生四卤化硅；和(2)与氢气接触以产生卤化氢，其中使卤化氢与硅进一步接触以产生包含四卤化硅和三卤硅烷的混合物；和使卤化进料气体与碱或碱土金属氢化物接触以产生硅烷和碱或碱土金属氢化物盐。
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