[发明专利]用于使用热丝来涂布的设备与方法在审
| 申请号： | 201180069001.6 | 申请日： | 2011-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103429786A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·班格特;沃纳·古尔;斯蒂芬·凯勒;迈克尔·柯尼希 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种涂布设备(700)，所述涂布设备包括：(i)真空腔室(16)，所述真空腔室用于使用经由金属丝(wire)(14)加热的涂布材料涂布基板(12)；和(ii)致动器系统(18)，所述致动器系统包括机动驱动器(20)。致动器系统配置成用于在涂布期间张紧金属丝(14)。此外，提供一种制造经涂布的基板(12)的方法，所述方法包括以下步骤：(i)由包括机动驱动器的致动器系统(18)张紧金属丝(14)；和(ii)使用涂布材料(28)涂布基板(12)，所述涂布的步骤在真空条件下执行。涂布的步骤包括以下步骤：在涂布材料沉积于基板(12)之上之前，加热金属丝(14)的至少一部分(14b)至用于引起涂布材料的温度升高的操作温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 热丝来涂布 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布设备(10)，所述涂布设备包括：真空腔室(16)，所述真空腔室用于涂布基板(12)；反应器(22)，所述反应器适于接收用于加热待沉积在所述基板(12)上的材料的至少金属丝(wire)部分(14a)；机动驱动器(20)，所述机动驱动器包括至少一个电机(1020)；和金属丝滚轮系统(324a、324b)，所述金属丝滚轮系统配置成用于在所述反应器(22)中进给且定位至少所述金属丝部分，其中所述机动驱动器(20)可操作地耦接至所述金属丝滚轮系统(324a、324b)，以使得在使用时，定位在所述反应器中的至少所述金属丝部分能够由所述机动驱动器以可调方式张紧。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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