[发明专利]用于产生带状束流的热阴极离子源系统无效
| 申请号： | 201180069740.5 | 申请日： | 2011-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN103477414A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈炯;洪俊华;钱锋 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 朱水平;王聪 |
| 地址： | 201203 中国上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于产生带状束流的热阴极离子源系统，包括一放电室、由一热阴极与一对阴极构成的阴极单元、引出系统。该引出系统具有一设有引出缝的引出区域，引出缝的数量为两条以上，该些引出缝在引出区域内相互平行。该热阴极离子源系统不但能够显著地提高所引出的离子束的束流强度和离子束的分布均匀性，还能够更好地保证所引出离子束的光学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 带状 热阴极 离子源 系统 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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