[发明专利]螺旋探针及其制造方法

摘要

本发明的螺旋探针包括：与被检查物直接接触的尖细形状的前端部（2）；自所述前端部（2）的根部起在一个方向上延伸的大致呈中空圆筒形状的前端侧主体部（3）；与所述前端侧主体部（3）连续并一体地在所述一个方向上延伸且外周面形成为螺旋状的大致中空圆筒形状的弯曲部（4）；与该弯曲部（4）连续并一体地在所述一个方向上延伸的大致中空圆筒形状的基端部（5），所述前端侧主体部（3）、所述弯曲部（4）以及所述基端部（5）的外周面沿所述一个方向一致排列。

主权项

一种螺旋探针，其特征在于，包括：前端部，该前端部与被检查物直接接触并呈尖细形状；前端侧主体部，该前端侧主体部自所述前端部的根部起在一个方向上延伸，并大致呈中空圆筒形状；弯曲部，该弯曲部与所述前端侧主体部连续并一体地在所述一个方向上延伸，并且具有外周面形成为螺旋状的大致中空圆筒形状；以及基端部，该基端部与所述弯曲部连续并一体地在所述一个方向上延伸，且大致呈中空圆筒形状，所述前端侧主体部、所述弯曲部以及所述基端部的外周面沿着所述一个方向一致排列。