[发明专利]制造用于信息记录介质的玻璃衬底的方法

摘要

本发明提供了一种制造用于信息记录介质的玻璃衬底的方法，包括以下步骤：使用太阳-行星齿轮型抛光机一次抛光若干玻璃衬底的抛光；选择性地确定抛光板的至少两个不同的环形区域并且控制抛光机的所确定的环形区域的温度变化以抑制并且控制玻璃衬底的厚度变化。当抛光板的不同区域上的温度差距低时可以抑制和控制厚度变化。本发明的目的还在于确定抛光机的抛光板的至少两个不同的环形区域的温度变化不高于2℃。通过根据本发明的这样的方法，抛光板的不同环形区域上的玻璃衬底的表面能够被抛光以具有低的厚度变化。

主权项

一种制造用于信息记录介质的玻璃衬底的方法，包括以下步骤：使用太阳‑行星齿轮型抛光机一次抛光若干玻璃衬底的抛光；确定抛光板的至少两个不同的环形区域，每个环形区域是圆形的所述抛光板上的不同的半径位置；选择性地检测每个环形区域的环境温度；以及控制所述环形区域的温度变化以抑制并且控制玻璃衬底的厚度变化。