[发明专利]使用相干反斯托克斯拉曼散射(CARS)显微术来表征材料收缩的系统和方法无效
| 申请号： | 201180072927.0 | 申请日： | 2011-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN103733017A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 托马索·巴尔达基尼;鲁宾·扎多因 | 申请（专利权）人： | 新港公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J3/44 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示用于在经历经界定光刻工艺的同时测量光敏材料(例如，光致抗蚀剂)的性质(例如，收缩)的系统和方法。所述系统包含适于执行所述光敏材料的经界定光刻工艺的光刻处理系统，以及适于执行所述光敏材料的所述性质的测量的相干反斯托克斯拉曼散射CARS显微术系统。在另一方面中，所述CARS显微术系统适于在通过所述光刻处理系统对所述光敏材料执行所述经界定光刻工艺的同时测量所述光敏材料的性质。在再一方面中，所述CARS显微术系统适于在对所述光敏材料的所述经界定光刻工艺暂停时测量所述光敏材料的性质。另一系统适于在制造所述光敏材料期间执行类似测量。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 相干 斯托 克斯拉曼 散射 cars 显微 表征 材料 收缩 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量光敏材料的一个或一个以上性质的系统，其包括：光刻处理系统，其适于对所述光敏材料执行经界定光刻工艺；以及相干反斯托克斯拉曼散射CARS显微术系统，其适于执行所述光敏材料的所述一个或一个以上性质的测量。
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