[发明专利]薄型玻璃基板的载体及其用途

摘要

描述了用以于基板处理腔室中支撑至少具有0.174平方米的面积的大面积玻璃基板的载体。载体包括至少一固定元件及至少一支撑部，至少一固定元件被配置成于基板处理期间握持住基板的上侧并承载至少60%的基板重量，至少一支撑部用以于基板处理期间于实质垂直的方向握持住基板。

主权项

一种用以于基板处理腔室中支撑大面积玻璃基板(101)的载体(100)，所述载体包括：至少一固定元件，被配置成于所述基板的处理期间握持住所述玻璃基板的上侧并承载至少60％的基板重量，所述至少一固定元件包括控制杆，其中，所述至少一固定元件是选自于由弹簧夹具元件(422)及曲折控制杆夹具元件(522)所组成的群组的至少一元件；至少一支撑部(110)，具有孔洞并且用以于所述基板的处理期间于有正负10°或更少偏差的垂直方向握持住所述基板，其中所述支撑部被配置成仅在所述基板的一侧以及在所述基板与所述载体沿所述基板周围的接触表面接触所述基板，其中所述玻璃被所述控制杆按压到所述接触表面上；以及一或多个侧边固定元件(124)，被配置成承受与所述基板于垂直方向的重力垂直的力。