[发明专利]微型隔膜泵

摘要

本发明公开了一种具有与吸入阀以及排出阀的一侧相接的隔膜室的微型隔膜泵。本发明中，具备形成有吸入阀（26）以及排出阀（28）的一方的阀板（14）和成为另一方的阀的流路的流路开口（16），且相互以相反的朝向被层叠的两张阀板片材（12）、被层叠在该层叠体，且形成有阀座（20）以及阀挡块（22）的两张阀座片材（18）、基座板（32）、框体（34）、隔膜（36）和驱动元件（42）。本发明外形尺寸极小，生产性好，流量控制精度高，动作圆滑，吸引力和排出力大，可靠性高。

主权项

一种微型隔膜泵，所述微型隔膜泵具有与吸入阀以及排出阀的一侧相接的隔膜室，其特征在于，具备两张阀板片材、两张阀座片材、基座板、框体、隔膜和驱动元件，所述两张阀板片材形成有前述吸入阀以及排出阀的一方的阀板和成为另一方的阀的流路的流路开口，相互以阀板和流路开口相向的朝向被层叠，所述两张阀座片材被层叠在该层叠体的两面，形成有与前述一方的阀板片材的阀板相向的阀座以及与另一方的阀板片材的阀板相向的阀挡块，所述基座板与一方的阀座片材重叠，具有分别与前述吸入阀以及排出阀连通的2个流路，所述框体与另一方的阀座片材的周缘重叠，将前述吸入阀以及排出阀包围，所述隔膜与该框体重叠，在与重叠了该框体的阀座片材之间形成隔膜室，所述驱动元件保持在该隔膜上。