[发明专利]MEMS开关

摘要

提供一种容易制造并且能够有效抑制粘连的MEMS开关。MEMS开关具有：固定支撑部；板状挠性梁，至少一端被固定支撑在固定支撑部上，具有延伸的活动表面；活动电气触点，配置在挠性梁的活动表面上；固定电气触点，位置相对于固定支撑部固定，与活动电气触点相对置；第一压电驱动元件，从固定支撑部朝向活动电气触点而在挠性梁的活动表面的上方延伸，能够通过电压驱动使活动电气触点向固定电气触点发生位移；以及第二压电驱动元件，至少配置在挠性梁的活动表面上，通过电压驱动，向活动电气触点远离固定电气触点的方向驱动挠性梁的活动部。

主权项

一种MEMS开关，其特征在于，具有：固定支撑部；板状挠性梁，至少一端被固定支撑在固定支撑部上，而且具有延伸的活动表面；活动电气触点，配置在所述挠性梁的活动表面上；固定电气触点，位置相对于所述固定支撑部固定，与所述活动电气触点相对置；第一压电驱动元件，从所述固定支撑部朝向所述活动电气触点而在所述挠性梁的活动表面的上方延伸，能够通过电压驱动使所述活动电气触点向所述固定电气触点发生位移；以及第二压电驱动元件，至少配置在所述挠性梁的活动表面上，通过电压驱动，向所述活动电气触点远离所述固定电气触点的方向驱动所述挠性梁的活动部。