[发明专利]类金刚石碳

摘要

本文所示的实施方式总体涉及类金刚石碳的形成、类金刚石碳的形式和/或二氧化碳固定。更具体地，本发明提供了一种制造类金刚石碳的方法，该方法可以包括提供一定体积的包含二氧化碳的气体，并对所述二氧化碳进行非热等离子体处理以制造类金刚石碳。

主权项

一种制造类金刚石碳的方法，所述方法包括：提供一定体积的包含二氧化碳的气体；和对所述二氧化碳进行非热等离子体处理，以制造类金刚石碳；其中，所述非热等离子体处理在17℃～50℃进行，所述非热等离子体处理用输入电压为10V～200V的电源进行，所述非热等离子体处理在50Hz～1000Hz的频率进行，所述非热等离子体处理在等于或高于100托的压力进行，并且所述等离子体处理进行5秒以上。