[发明专利]等离子体处理设备无效
| 申请号： | 201180074205.9 | 申请日： | 2011-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN104040678A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | S.R.库尔森;F.霍珀;C.E.金 | 申请（专利权）人： | P2I有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马丽娜;胡莉莉 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对物品（12）进行等离子体处理的设备（10），该设备包括：室（14），其用于接收要处理的物品；电极装置（16），其用于在所述室中生成电场以便在所述室中建立等离子体，使得能够处理所述物品；生成装置（24），其用于生成用于传输到所述电极装置（18）的交变电能；连接装置，其用于将所述生成装置连接到所述电极装置（20）；以及控制装置，其用于改变在处理期间在所述室中生成的驻波的波节和波腹的位置，使得随着时间而生成相互不一致的多个驻波。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于对物品进行等离子体处理的设备，该设备包括：室，其用于接收要处理的物品；电极装置，其用于在所述室中生成电场以便在所述室中建立等离子体，使得能够处理所述物品；生成装置，其用于生成用于传输到所述电极装置的交变电能；连接装置，其用于将所述生成装置连接到所述电极装置；以及控制装置，其用于在处理期间改变在所述室中生成的驻波的波节和波腹的位置，使得随着时间而生成相互不一致的多个驻波。
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