[发明专利]一种钨平面靶的制作工艺无效
| 申请号： | 201210000723.2 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102699626A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张灵杰 | 申请（专利权）人： | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 李宗虎 |
| 地址： | 471003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种钨平面靶的制作工艺，制作步骤如下：将原料装入橡胶模套内，制备成实心的粉质钨板坯，然后采用冷等静压机成型，压力为300-400Mpa，8分钟后固体板坯成型；将成型后的固体板坯放入中频烧结炉中，炉内通入氢气，加热温度为2300℃，加热时间为28个小时，后采用水循环降温10小时，后冷却至室温止，成型坯体备用；将处理后的成型板坯加热到1500℃，加热时间为2小时，取出后经热轧机轧制成形，备用；将处理后的板坯进行机械加工，钨平面靶制作完成。本方法制作工艺简单，对设备要求不高，因此投入成本较低，制备出的靶材致密性较好，相对密度达到99%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 制作 工艺 | ||
【主权项】：
一种钨平面靶的制作工艺，其特征在于：采用钨粉为原料，钨粉的纯度≥99.98%，粒度在2.4—3.2μm，制作步骤如下：步骤一、将原料装入橡胶模套内，制备成实心的粉质钨板坯，然后采用冷等静压机成型，压力为300—400Mpa，8分钟后固体板坯成型；步骤二、将成型后的固体板坯放入中频烧结炉中，炉内通入氢气，加热温度为2300℃，加热时间为28个小时，后采用水循环降温10小时，后冷却至室温止，成型坯体备用；步骤三、将步骤二处理后的成型板坯加热到1500℃，加热时间为2小时，取出后经热轧机轧制成形，备用；步骤四、将步骤三处理后的板坯进行机械加工，使表面粗糙度达到Ra1.6~Ra3.2µm，钨平面靶制作完成。
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