[发明专利]大功率激光波前测量仪及波前测量方法

摘要

本发明公开了一种大功率激光波前测量仪及波前测量方法。解决多路大功率激光相干合成中单路激光波前分析及任意两路激光的相位差测量。测量仪由机械快门、光束取样反射镜、缩束光学系统、透射式衰减器、反射式衰减器、哈特曼波前分析仪、相位差探测CCD相机和计算机组成。测量仪工作时，机械快门只在波前测量时打开，用哈特曼波前分析仪对各单路激光波前进行测量，同时用相位差探测CCD相机记录各单路激光的光强分布；将一路激光作为基准，依次打开其它各路激光分别与基准激光干涉；用相位差探测CCD相机测出每两路激光相干合成后的光强度，得到各路激光相对于基准激光的相位差；同时用哈特曼波前分析仪对相干激光合成后的波前进行测量。

主权项

一种大功率激光波前测量仪，由光学系统与测量系统组成。其特征在于：所述的光学系统由机械快门(1)、光束取样反射镜(2)、缩束光学系统(3)、透射式衰减器(4)和反射式衰减器(6)组成；所述的测量系统由哈特曼波前分析仪(5)、相位差探测CCD相机(7)和计算机(8)组成；所述机械快门(1)打开时激光束以10°入射角入射至光束取样反射镜(2)，由光束取样反射镜(2)将激光束反射进入缩束光学系统(3)，缩束光学系统(3)将大口径激光束压缩，出射激光束分别由透射式衰减器(4)进入哈特曼波前分析仪(5)进行测量，由反射式衰减器(6)进入相位差探测CCD相机(7)进行测量，计算机(8)控制哈特曼波前分析仪(5)和相位差探测CCD相机(7)的工作；其中光束取样反射镜(2)采用表面不镀膜的熔石英玻璃，为光楔形式，尺寸为165×160mm2，对角线尺寸为230mm，厚度取35mm；缩束光学系统(3)的结构为透射式的开普勒望远镜系统，在望远镜系统的物镜焦点处设置空间滤波器滤除杂散光，物镜选用熔石英玻璃，由两个面组成，其中第一个面为椭球面，第二个面为平面，望远镜系统的光阑设在椭球面上，望远镜系统的目镜选用普通光学玻璃；透射式衰减器(4)由三片透射式楔镜组成；反射式衰减器(6)由三片反射式楔镜组成。