[发明专利]惯性力传感器有效
申请号: | 201210001632.0 | 申请日: | 2007-04-10 |
公开(公告)号: | CN102589538A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 大内智;相泽宏幸 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | G01C19/5607 | 分类号: | G01C19/5607 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 郑海涛 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种惯性力传感器,其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器,在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部,从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。 | ||
搜索关键词: | 惯性力 传感器 | ||
【主权项】:
一种惯性力传感器,其特征在于具备振荡器,所述振荡器由非压电材料构成,具有多个臂、以及连结所述臂的基部,所述臂的离开所述臂的棱部的平面部上的部位形成有微调部,在所述臂的其中一个面上形成电极,在所述臂的另一面的从宽度的5%至95%之间的部分上形成所述微调部,所述微调部形成在所述多个臂中的相同位置。
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