[发明专利]一种表面等离子共振整流天线及其制备方法

摘要

一种表面等离子共振整流天线及其制备方法。所述的表面等离子共振整流天线为三层结构，下层为金属Ti，在金属Ti的一个表面氧化生成TiO2纳米管阵列层。在所述TiO2纳米管阵列层的表面通过光沉积有Cu纳米颗粒金属层。所述的Cu纳米颗粒金属层的微观表面形貌为纳米颗粒。本发明使用光沉积代替超高真空电子束蒸发技术，使用廉价金属铜Cu代替贵金属Au制备了Ti/TiO2NT/Cu结构的整流天线，解决了目前金属层沉积技术成本、设备投入成本及贵金属价格成本高，不能用于大规模工业化生产难题，有利于太阳能技术的绿色低成本发展。

主权项

一种表面等离子共振整流天线，所述的表面等离子共振整流天线为三层结构，下层为金属Ti，在金属Ti的一个表面氧化生成TiO2纳米管阵列层；其特征在于，在所述TiO2纳米管阵列层的表面沉积有Cu纳米颗粒金属层；所述的Cu纳米颗粒金属层的微观表面形貌为纳米颗粒，其颗粒大小为50～80nm，无特定形态，附着在TiO2纳米管基体表面的管壁上，少量沉积物进入到管内。