[发明专利]集成调度系统的EFEM及其调度方法

摘要

本发明提供了一种集成调度系统的EFEM及其调度方法，通过把工艺处理工作站(Cluster tools)中起调度作用的工控机与EFEM的控制器结合，即EFEM的控制器由集成调度的EFEM工控机取代，使得EFEM具有良好的二次开发性，在运行系统时可以根据具体需求对大气机械手、Load Port组、预对准模块等模块进行示教、信号配置、工艺过程处理。同时将大气机械手、Load Port组、预对准模块这些模块的底层驱动嵌入到EFEM中，所以无需再进行设置开发即可实现调度控制。

主权项

一种集成调度系统的EFEM，其特征在于：包括集成调度的EFEM工控机、大气机器手、预对准模块、风机滤器模块、以太网交换机、DeviceNet总线通讯模块、I/O模块、现场级设备及Load Port组；集成调度的EFEM工控机，用于对EFEM系统整体进行调度及EFEM工控机的本体控制；集成调度的EFEM工控机承担工艺处理工作站的调度控制任务，对EFEM系统中的大气机器手轨迹进行规划和调度；对预对准模块的对准功能进行控制；对Load port的开门、检测晶圆、关门进行控制；根据压差传感器对风机滤器模块中的FFU进行控制；以及通过Load Lock对后端设备中的真空机器手进行轨迹规划、动作控制；协调大气机器手与Load Port、大气机器手与预对准模块、大气机器手与过渡腔、过渡腔与真空机器手之间的动作配合；所述大气机器手，用于执行Load Port组上的晶圆盒和预对准模块、过渡腔之间的晶圆搬运任务；所述预对准模块，用于把从晶圆盒中取出的晶圆进行对正，以保证所有晶圆在被放到下一工位时都是一样的位置；所述风机滤器模块，用于过滤粉尘颗粒，同时保证EFEM内部气压相对EFEM外部气压处于正压，使EFEM内空气向EFEM外流动，保证EFEM内部空气处于洁净环境；所述以太网交换机，用于连接EFEM中支持以太网通信的设备，为其提供数据交换功能；所述DeviceNet总线通讯模块，通过DeviceNet总线与集成调度的EFEM工控机相连；所述I/O模块，用于采集现场级设备的信号；所述现场级设备，用于执行集成调度的EFEM工控机及逻辑控制设备发出的命令的执行设备；所述Load Port组，用于装载晶圆盒，是晶圆进出机台的窗口；所述集成调度的EFEM工控机与大气机器手、预对准模块、风机滤器模块、以太网交换机及DeviceNet总线通讯模块相连；所述以太 网交换机连接I/O模块及Load Port组。