[发明专利]一种平衡硅片夹持机构有效
| 申请号： | 201210004898.0 | 申请日： | 2012-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN102543818A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 凯里·雷;李伟;张豹;吴仪;王锐廷 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平衡硅片夹持机构，包括：旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘，所述卡盘包括三个夹持臂，其中两个所述夹持臂的端部为固定夹持元件，另一个所述夹持臂的端部为可调夹持件；所述可调夹持件可相对与所述卡盘的连接点摆动，用于夹持硅片，其顶端设置有用于与所述硅片表面接触的夹持元件，其底端设置有重量可调的平衡机构。本平衡硅片夹持机构其结构简单，且无需通过移动零件来夹持住硅片，从而不会在硅片清洗结束后会产生颗粒物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平衡 硅片 夹持 机构 | ||
【主权项】：
一种平衡硅片夹持机构，其特征在于，包括：旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘(3)，所述卡盘(3)包括三个夹持臂，其中两个所述夹持臂的端部为固定夹持元件(10)，另一个所述夹持臂的端部为可调夹持件(9)；所述可调夹持件(9)可相对于与所述卡盘(3)的连接点摆动，用于夹持硅片(2)，其顶端设置有用于与所述硅片(2)表面接触的夹持元件(4)，其底端设置有重量可调的平衡机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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