[发明专利]多晶硅热膨胀系数在线测试结构

摘要

本发明公开了一种多晶硅热膨胀系数在线测试结构，它对称布置有一对结构基本相同的多晶硅偏转指针，并利用该对指针所受多晶硅残余应力影响相同的特点，使得偏转指针尖端部偏转量不受残余应力的影响。本发明具有测试结构简单、测试方法简便，获得的热膨胀系数稳定并更加精确，实现多晶硅热膨胀系数的在线测试。

主权项

一种多晶硅热膨胀系数在线测试结构，其特征在于：包括绝缘衬底（1）、上偏转指针和下偏转指针，该上偏转指针和下偏转指针用多晶硅制成，其中：所述上偏转指针包括第一驱动梁（2）、第一指针（3）、第一锚区（4）和第二锚区（5），且为一体设计，所述第一驱动梁（2）一端与该第一指针（3）垂直连接，另一端与第一锚区（4）连接，所述第一驱动梁（2）和第一指针（3）的连接部与所述第二锚区（5）连接，所述第一锚区（4）和第二锚区（5）上表面均设有金属电极（10），并固定在绝缘衬底（1）上，所述第一驱动梁（2）和第一指针（3）与绝缘衬底（1）存在间隙，处于悬空状态；所述下偏转指针包括第二驱动梁（6）、第二指针（7）、第三锚区（8）和第四锚区（9），且为一体设计，所述第二驱动梁（6）一端与该第二指针（7）垂直连接，另一端与第三锚区（8）连接，所述第二驱动梁（6）和第二指针（7）的连接部与所述第四锚区（9）连接，所述第三锚区（8）和第四锚区（9）上表面均设有金属电极（10），并固定在绝缘衬底（1）上，其中所述第四锚区（9）上的金属电极（10）延伸至所述第二驱动梁（6）上，所述第二驱动梁（6）和第二指针（7）与绝缘衬底（1）存在间隙，处于悬空状态；所述下偏转指针中的第一指针（3）与上偏转指针中的第二指针（7）错位相对，并有部分重叠，该重叠部分有错位距离。