[发明专利]镜框固定装置有效
| 申请号： | 201210005083.4 | 申请日： | 2012-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN103197396A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 王健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且不会受到在螺钉拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片的面型及光刻机的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 镜框 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种镜框固定装置，用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，其特征在于：包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中。
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