[发明专利]具有压电系数d31的压电驻极体功能膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 201210005276.X 申请日: 2012-01-10
公开(公告)号: CN102569641A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 张晓青;游琼;娄可行 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: H01L41/26 分类号: H01L41/26
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;盛志范
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于压电功能材料技术领域,具体为一种具有压电系数d31的压电驻极体功能膜的制备方法。具体步骤为:非极性聚合物材料,利用压印、喷涂、提拉或旋涂工艺,在带有沟槽结构的模板表面形成与模板结构相同形状的聚合物薄膜,薄膜的厚度在1µm~200µm之间;然后将两个相同结构的聚合物膜热压粘合,得到沟槽和密实部分相间排列的孔洞结构复合薄膜;最后对复合薄膜采用电晕充电工艺或接触法充电工艺进行极化处理,即得所需的压电驻极体功能膜。本发明获得的带沟槽结构的压电驻极体具有强压电系数d31(或d32)。该压电驻极体功能膜可以应用在能量采集器、声电传感器、机器人肌肤、智能结构、光声传感器等领域。
搜索关键词: 具有 压电 系数 sub 31 驻极体 功能 制备 方法
【主权项】:
一种具有压电系数d31的压电驻极体功能膜的制备方法,其特征在于具体步骤为:非极性聚合物材料,利用压印、喷涂、提拉或旋涂工艺,在带有沟槽结构的模板表面形成与模板结构相同形状的聚合物薄膜,薄膜的厚度在1µm~200µm之间;然后将两个相同结构的聚合物膜热压粘合,得到沟槽和密实部分相间排列的孔洞结构复合薄膜;最后对复合薄膜进行极化处理。
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