[发明专利]微纳米三维接触扫描测量探头有效
| 申请号： | 201210005654.4 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102589423A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 范光照;苗晋伟;李瑞君;龚伟;张友良;王志伟;张晴 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/245 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳米三维接触扫描测量探头，其特征是设置一测头单元是在一固定圆环的中央设置三臂悬浮片，在三臂悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成三臂悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在三臂悬浮片一侧的中央位置处设置敏感元件测量反射镜，另一侧安装带有红宝石测球的测杆；设置一测量单元用于感测敏感元件测量反射镜的位移和二维角度。本发明能获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 三维 接触 扫描 测量 探头 | ||
【主权项】：
微纳米三维接触扫描测量探头，其特征是设置：一测头单元：在一固定圆环(24)的中央设置三臂悬浮片(10)，在所述三臂悬浮片(10)的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片(25)，所述各悬臂簧片(25)的另一端与固定圆环(24)相连接，形成三臂悬浮片(10)在固定圆环(24)中的悬浮结构；在所述三臂悬浮片(10)一侧的中央位置处设置敏感元件测量反射镜(9)，另一侧安装带有红宝石测球(12)的测杆(11)；一测量单元：用于感测敏感元件测量反射镜(9)的位移和二维角度；所述测量单元的光路结构为：激光光源(1)发射出的准直光经过第一分光镜(4)分成两路准直光，其中一路准直光依次经过第一1/4波片(5)和转折反射镜(6)照射在参考反射镜(3)上并原路返回进入第一分光镜(4)；另一路准直光依次经过第二1/4波片(7)和第二分光镜(13)照射在测量反射镜(9)上，照在所述测量反射镜(9)上的部分反射光原路返回至第一分光镜(4)，所述第一分光镜(4)的输出光束依次经过第三1/4波片(16)和第三分光镜(17)后分成两路，一路进入第四分光镜(20)后再分成两路，分别照在第一光电感测器(18)和第二光电感测器(19)上；另一路进入第五分光镜(23)后同样再被分成两路，分别照在第三光电感测器(21)和第四光电感测器(22)上；由所述第二分光镜(13)将所述测量反射镜(9)的部分反射光转折，并经过透镜(14)照射在四象限光电感测器(15)上。
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