[发明专利]全固态短波紫外激光源

摘要

本发明是一种全固态短波紫外激光源，包括：近红外基频激光器和在所述近红外基频激光器输出激光方向依序设置的二倍频非线性光学晶体、光束匹配调控系统、四倍频非线性光学晶体及光束分光准直整形系统；所述近红外基频激光器输出近红外激光，通过二倍频非线性光学晶体产生二倍频激光，通过光束匹配调控系统进入四倍频非线性光学晶体，产生高效率四倍频激光，经过光束分光整形准直系统实现高功率、高光束质量短波紫外激光输出。本发明通过精密波长选择技术及低增益激光振荡放大技术实现高效近红外基频激光输出，使用非线性光学晶体实现高效二倍频激光输出，再通过非线性光学晶体实现高效四倍频产生，从而实现高功率、高光束质量短波紫外激光输出。

主权项

一种全固态短波紫外激光源，其特征在于，包括：近红外基频激光器(1)和在所述近红外基频激光器(1)输出激光方向依序设置的二倍频非线性光学晶体(2)、光束匹配调控系统(3)、四倍频非线性光学晶体(4)及光束分光准直整形系统(5)；所述近红外基频激光器(1)输出近红外激光，通过二倍频非线性光学晶体(2)产生二倍频激光，所述二倍频激光通过光束匹配调控系统(3)进入四倍频非线性光学晶体(4)，产生高效率四倍频短波紫外激光，最后经过光束分光整形准直系统(5)实现高功率、高光束质量短波紫外激光输出。