[发明专利]掩模板承载架有效
| 申请号： | 201210006863.0 | 申请日： | 2012-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103206979B | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;陈海波 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30;G01D11/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模板承载架，其特征在于，包括主框架、连杆、固定夹头和活动夹头；所述连杆设置于所述主框架上，所述固定夹头固定于所述连杆的一端，所述活动夹头设置于所述连杆的另一端并可在所述连杆上滑动，所述固定夹头和活动夹头用于夹持带外框的掩模板；所述固定夹头和活动夹头上分别设置有多个阶梯形夹持面。本发明提供一种掩模板承载架,其可以满足不同尺寸带外框的掩模板的承载固定，可以适应实际生产中同一检测平台对不同尺寸带外框的掩模板的测定，且活动夹头的设置更易于带外框的掩模板的夹持与拆装，避免了不同厚度带外框的掩模板检测时需要大幅调整检测系统，生产成本低，效率高，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 承载 | ||
【主权项】：
一种掩模板承载架，其特征在于，包括主框架、连杆、固定夹头和活动夹头；所述连杆设置于所述主框架上，所述固定夹头固定于所述连杆的一端，所述活动夹头设置于所述连杆的另一端并可在所述连杆上滑动，所述固定夹头和活动夹头用于夹持带外框的掩模板；所述固定夹头和活动夹头上分别设置有多个阶梯形夹持面。
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