[发明专利]一种高稳定性的支撑台在审
申请号: | 201210006878.7 | 申请日: | 2012-01-11 |
公开(公告)号: | CN103206596A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;程晔 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种高稳定性的支撑台,包括有复数个子支撑台及固定该复数个子支撑台的基板,基板上设置有用于将高稳定性支撑台固定在其它机构上的固定孔。本发明高稳定性的支撑台能够准确的将被载物体准确的定位在载物台上确定的位置上,具有较高的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 稳定性 支撑 | ||
【主权项】:
一种高稳定性的支撑台,其特征在于:包括有复数个子支撑台及固定该复数个子支撑台的基板,基板上设置有用于将高稳定性支撑台固定在其它机构上的固定孔。
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