[发明专利]薄膜的制法及共蒸镀用蒸镀材、薄膜、薄膜片及层叠片有效
| 申请号： | 201210008345.2 | 申请日： | 2012-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN102628155A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 有泉久美子;吉田勇气;樱井英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/08;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种透明性及气体遮断性优异的薄膜的制造方法、适合形成该薄膜的共蒸镀用蒸镀材、通过该方法得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片及层叠片。本发明的薄膜的制造方法，其特征在于，使用由第1氧化物构成的升华性蒸镀材和由与该第1氧化物不同种类的第2氧化物构成的升华性蒸镀材，利用通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法，在基材上形成由第1氧化物和第2氧化物构成的氧化物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 制法 共蒸镀用蒸镀材 层叠 | ||
【主权项】：
一种薄膜的制造方法，其特征在于，使用由第1氧化物构成的升华性蒸镀材和由与所述第1氧化物不同种类的第2氧化物构成的升华性蒸镀材，利用通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法，在基材上形成由所述第1氧化物和所述第2氧化物构成的氧化物薄膜。
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