[发明专利]导模法同步生长多条晶体的热场及方法

摘要

本发明提供一种导模法同步生长多条晶体的热场，其包括加热保温装置、坩埚和籽晶夹头装置，加热保温装置包括发热体；坩埚具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁；发热体为使坩埚的内部与其第一侧壁、第二侧壁等距的位置处温度相等的结构；坩埚内设置有并排式模具，并排式模具包括多个模具片，每一模具片到坩埚的第一侧壁、第二侧壁的距离相等，且每一模具片的上表面均与所要生长的晶体的截面尺寸、形状相同；并排式模具的上方设置籽晶，籽晶底部具有一可与每一模具片的上表面同时接触的熔接面。本发明还提供一种采用上述热场通过导模法同步生长多条晶体的方法。本发明的热场可同步生长出晶向一致、径向温度梯度均匀的多条晶体。

主权项

一种导模法同步生长多条晶体的热场，其至少包括加热保温装置、设置于加热保温装置内部的坩埚和用于提拉籽晶的籽晶夹头装置，所述加热保温装置包括设置于坩埚外周的用于加热坩埚的发热体，其特征在于：所述坩埚具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁；所述发热体为使所述坩埚的内部、与其第一侧壁和第二侧壁等距的位置处温度相等的结构；所述坩埚内设置有并排式模具，所述并排式模具包括并排固定在所述坩埚内、结构相同的多个模具片，每一模具片到所述坩埚的第一侧壁、第二侧壁的距离相等，且每一模具片的上表面均与所要生长的晶体的截面尺寸、形状相同；所述并排式模具的上方设置所述籽晶，所述籽晶底部具有一可与每一模具片的上表面同时接触的熔接面，且所述籽晶的熔接面与每一模具片的上表面接触而形成的接触面的大小、尺寸相同。