[发明专利]钼铌合金板靶材加工工艺有效
| 申请号： | 201210009053.0 | 申请日： | 2012-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN102560383A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陈玉柱 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市科迪普有色金属加工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/16 |
| 代理公司： | 宝鸡市新发明专利事务所 61106 | 代理人： | 席树文 |
| 地址： | 721013 陕西省宝*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种钼铌合金板靶材的加工工艺，按照如下步骤实施：(1)混合：将定量钼粉与铌粉各分为至少三小份，然后每小份钼粉与铌粉再分别混合成小份混合粉，每小份混合粉经过多次混合和过筛后，多个小份混合粉再合成为混合合金粉；然后再将混合合金粉至少分三组分别混料最后合成一起，再混料成为成分均匀的合金粉；(2)成型：经过等静压压成合金坯，进入高温中频炉在氢气保护下烧结，烧结温度分三个温区：0-800℃、800-1600℃、1600-2000℃并且每个温度区至少烧结3小时，最终烧成合金坯状；(3)锻造和轧制：再经过1200-1400℃高温锻造制密后进入高温炉1500-1600℃的加热温度进行轧制成备料规格的板材；(4)精加工：经切割、精磨、机加成为钼铌合金板靶材成品。本发明所得到的坯料呈现出比较细化晶粒，晶粒的大小趋于一致。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 板靶材 加工 工艺 | ||
【主权项】：
一种钼铌合金板靶材的加工工艺，其特征是按照如下步骤实施：(1)混合：将定量钼粉与铌粉各分为至少三小份，然后每小份钼粉与铌粉再分别混合成小份混合粉，每小份混合粉经过多次混合和过筛后，多个小份混合粉再合成为混合合金粉；然后再将混合合金粉至少分三组分别混料最后合成一起，再混料成为成分均匀的合金粉；(2)成型：经过等静压压成合金坯，进入高温中频炉在氢气保护下烧结，烧结温度分三个温区：0‑800℃、800‑1600℃、1600‑2000℃并且每个温度区至少烧结3小时，最终烧成合金坯状；(3)锻造和轧制：再经过1200‑1400℃高温锻造制密后进入高温炉1500‑1600℃的加热温度进行轧制成备料规格的板材；(4)精加工：经切割、精磨、机加成为钼铌合金板靶材成品。
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