[发明专利]放电电极及应用该放电电极的等离子体发生装置无效
申请号: | 201210009084.6 | 申请日: | 2012-01-12 |
公开(公告)号: | CN102548176A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 刘文正;孔飞;张德金 | 申请(专利权)人: | 北京交通大学 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 苏培华 |
地址: | 100044 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种放电电极,包括:锥状阴极、网状阳极和支撑构件;其中,所述锥状阴极的锥端与所述网状阳极的圆形端面中心相对准,且二者均设置于所述支撑构件上。真空放电过程中,在本发明的网状阳极后侧可以获得高密度、大面积的金属等离子体。本发明另外还提供一种应用该放电电极的等离子体发生装置。 | ||
搜索关键词: | 放电 电极 应用 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】:
一种放电电极,其特征在于包括:锥状阴极、网状阳极和支撑构件;其中,所述锥状阴极的锥端与所述网状阳极的端面相对准,且二者均设置于所述支撑构件上。
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