[发明专利]一种波片相位延迟的精密测量系统及其实现方法

摘要

一种波片相位延迟的精密测量方法及其系统，包括一光源，在该光源发出光的前进方向上依次放置光纤耦合器、起偏器、补偿器及待测样品、偏振片、检偏器、成像透镜、单色仪和探测器，补偿器由计算机控制的电机带动旋转，探测器的输出经数据采集卡传至电子计算机进行数据处理；计算机通过数据采集卡控制单色仪选择波长；计算机通过数据采集卡发送脉冲信号到电机驱动以控制电机以定步长旋转补偿器；方法是在旋转补偿器的椭偏仪的基础上将其相位延迟作为未知参数建立四个非线性方程，求解得到待测样品的相位延迟。测量过程实现了补偿器相位延迟的自校准，消除了其定标不准确带来的系统误差；且利用三步测量法消除了系统中偏振元件的方位角误差的影响。

主权项

一种波片相位延迟的精密测量系统，包括一光源，在该光源发出光的前进方向上依次放置准直器、起偏器、补偿器及置于样品台上的待测样品，所述的补偿器由步进电机带动旋转，该电机的驱动由一电子计算机实行控制，在待测样品之后且沿光的前进方向放置有检偏器、成像透镜、单色仪和探测器，所述的探测器的输出经数据采集卡传至电子计算机进行数据处理；所述的电子计算机通过数据采集卡控制单色仪选择波长；电子计算机通过数据采集卡发送脉冲信号到电机驱动以控制电机以一定步长旋转补偿器；其特征在于：所述的准直器采用光纤耦合器；在待测样品之后、检偏器之前再加入一偏振片。