[发明专利]用于磁控溅射平面靶镀膜设备的可调靶基距装置无效
| 申请号： | 201210009984.0 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102517556A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘高水;周志文;李民英 | 申请（专利权）人： | 广东志成冠军集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 523718 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明所述的用于磁控溅射平面靶镀膜设备的可调靶基距装置由可调节密封连接装置、门板及靶体三部分组成；所述的可调节密封连接装置由轴、月牙螺母、绝缘套固定块、密封装置及弹簧组成，其中所述的密封装置包括上轴封压块、下轴封压块、支撑轴套、轴封及螺钉组成。本发明所述的装置避免真空室暴露大气，影响抽真空时间，实现在真空状态下调节，同时解决传统的垫块式调节的不连续性及膜层的纵向不均匀性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磁控溅射 平面 镀膜 设备 可调 靶基距 装置 | ||
【主权项】：
用于磁控溅射平面靶镀膜设备的可调靶基距装置由可调节密封连接装置、门板及靶体三部分组成；所述的可调节密封连接装置由轴、月牙螺母、绝缘套固定块、密封装置及弹簧组成，其中所述的密封装置包括上轴封压块、下轴封压块、支撑轴套、轴封及螺钉组成，上轴封压和下轴封压块通过螺钉固定在门板两侧，上轴封压块与下轴封压块之间分别依次设置有支撑轴套和轴封；所述的可调节密封连接装置的轴穿过门板和靶体，轴的一端安装有水管接头，轴通过螺纹与月牙螺母连接，月牙螺母和密封装置之间设置有绝缘套固定块；所述的弹簧套装在轴上，并置于下轴封压块与靶体之间；所述的弹簧固定在靶体和下轴封压块上；弹簧与靶体接触点位置处的轴焊接在靶体上。
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