[发明专利]SiCN/TiCN多层膜刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210010276.9 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102534492A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 邵天敏;魏松波 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B23B27/14 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种SiCN/TiCN多层膜刀具涂层及其制备方法。本发明所述的SiCN/TiCN多层膜刀具涂层由SiCN和TiCN交替沉积制备，涂层最外层为SiCN层，最内层为TiCN。这种多层膜涂层充分结合了SiCN和TiCN薄膜的优点，实现了一种涂层多功能化，即具备低摩擦、高硬度和抗氧化等特点，同时可显著降低刀具表面粗糙度。本发明采用气相沉积法获得SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，制备工艺相对简单，适合产业化生产，所制备的涂层性能稳定，可用于不同类型的切削刀具。 | ||
| 搜索关键词： | sicn ticn 多层 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种SiCN/TiCN多层膜刀具涂层，其特征在于：在刀具基体上，依次交替沉积TiCN层和SiCN层，紧贴刀具基体的是TiCN层，最外层为SiCN层。
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