[发明专利]一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置无效
| 申请号： | 201210010651.X | 申请日： | 2012-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103205722A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，通过一个遮板本体设有密接边、另一个遮板无密接边的方式合并，使遮板接无间系，达到完全遮蔽溅镀到镀膜腔室腔壁上，同时遮板下端设有折边，使遮板能放至于腔壁上，不需以螺丝固定。达到节省安装时间的效果同时又易于更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅镀腔室腔壁防镀遮板装置，其包括遮板本体所组成。
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