[发明专利]三维立体蒸镀掩模板有效
| 申请号： | 201210010711.8 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205689A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;孙倩 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构；所述掩模板由纯镍制造而成。本发明提供的三维立体蒸镀掩模板,具有凹陷区域和凸起区域，由纯镍制造而成，板面光亮度好，镀层表面质量好，无麻点、针孔，凸起区域不易脱落成本低，工艺简单，节省能源开口精度高，开口质量好，孔壁光滑，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 三维立体 蒸镀掩 模板 | ||
【主权项】：
一种三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构；所述掩模板由纯镍制造而成。
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