[发明专利]掩模对位装置及其对位方法有效
| 申请号： | 201210010748.0 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205694A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模对位装置及其对位方法，掩模框架3放于对位基台4上，使其侧面与销钉5、6、7相接触；再将掩模板11水平放置在掩模框架3上，保证二者紧密贴合；通过CCD准确捕捉掩模板11及掩模框架3上的对位孔13、14和对位孔1、2；通过装置自带软件读出两孔对位孔1与13、2与14的最大偏差值L；若差值超出±15μm，调整销钉然后再用CCD捕捉掩模板及掩模框架上的对位孔1和13、以及2和14，再次读取两组对位孔之间相对偏差值L；像这样重复微调读取，直至L控制在±15μm。本发明能够使掩模板与掩模框架精确对位，并使其位置偏差控制在±15μm内。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模对位装置，用于对位掩模板和掩模框架，其特征在于：包括基台、销钉、拉动装置，所述掩模板、所述掩模框架、所述销钉和所述拉动装置均位于基台上，所述掩模板和所述掩模框架上分别具有对位孔，所述销钉可以通过所述拉动装置微调其位置。
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