[发明专利]一种显影机的喷淋显影系统在审
| 申请号： | 201210011080.1 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN103207537A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世弥 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种显影机的喷淋显影系统，为单面显影方式，包括有喷管，其中所述喷管为形状较为规则的蛇形状，其排布方向与显影对象的运动方向一致，喷管的喷嘴方向朝上，显影液喷淋方向由下向上。本发明显影机的喷淋显影系统可以有效的解决传统显影过程中出现的水池效应，同时特殊的喷管结构可以尽量减少整个喷淋体系中各部位喷淋差异，即溶液喷淋均匀，可以避免局部显影不均的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 喷淋 系统 | ||
【主权项】：
一种显影机的喷淋显影系统，为单面显影方式，包括有喷管，其特征在于：所述喷管为形状较为规则的蛇形状，其排布方向与显影对象的运动方向一致，喷管的喷嘴方向朝上，显影液喷淋方向由下向上。
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