[发明专利]卷对卷ITO膜的退火系统和方法无效
| 申请号： | 201210011100.5 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102899631A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 具基完 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏金霞;田军锋 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种用于触控面板的涂覆有诸如ITO材料的透明电极材料的膜的退火处理系统。具体地，本发明构造为包括：展开装置，该展开装置包括第一卷绕辊，涂覆有透明电极材料的膜材料绕第一卷绕辊卷绕；红外线加热模块，该红外线加热模块使用红外线加热器在从第一卷绕辊装载的膜材料上进行退火处理；以及卷绕装置，该卷绕装置包括第二卷绕辊，通过红外线加热模块的膜材料绕第二卷绕辊卷绕。 | ||
| 搜索关键词： | ito 退火 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于透明电极涂覆膜的退火系统，包括：展开装置，所述展开装置包括第一卷绕辊，涂覆有透明电极材料的膜材料绕所述第一卷绕辊卷绕；红外线加热模块，所述红外线加热模块使用红外线加热器在从所述第一卷绕辊载入的所述膜材料上进行退火处理；以及卷绕装置，所述卷绕装置包括第二卷绕辊，经过所述红外线加热模块的所述膜材料绕所述第二卷绕辊卷绕。
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