[发明专利]一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201210011554.2 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102534493A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，成分表示为(V1-xAlx)N，其中，1-x为0.41～0.6，x为0.4～0.59，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具涂层。本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，将Al靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，通入Ar气和N2气，通过调节Al靶的功率和V靶的功率，在250℃～500℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 复合 结构 al 硬质 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米复合结构的V‑Al‑N硬质涂层，其特征在于，成分表示为(V1‑xAlx)N，其中，1‑x为0.41～0.6，x为0.4～0.59。
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