[发明专利]蒸镀用掩模板无效
| 申请号： | 201210011764.1 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205704A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀用掩模板，主要解决现有OLED制造技术中，蒸镀时有机颗粒由于掩模板开口壁的遮蔽而无法达到基板的技术问题，本发明通过采用一种蒸镀用掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物（ITO）基板接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO和蒸镀面的通孔，通孔在ITO面上的开口尺寸小于在蒸镀面上的开口尺寸的技术方案，较好地解决了该问题，可用于有机发光二级管的工业生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用掩 模板 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物（ITO）基板接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的通孔，通孔在ITO面上的开口尺寸小于在蒸镀面上的开口尺寸，ITO面和蒸镀面的通孔开口均具有倒锥角。
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