[发明专利]一种氮化镓基激光器管芯的制备方法

摘要

本发明公开了一种氮化镓基激光器管芯的制备方法，包括如下步骤：1）在衬底上外延生长N型GaN电极接触层、N型光限制层、N型波导层、发光有源区、P型波导层、P型光限制层和P型电极接触层；得到氮化镓基激光器外延结构；2）将氮化镓基激光器外延结构刻蚀至P型光限制层，并刻去部分P型波导层，形成激光器的脊型结构；3）在上述激光器的脊型结构的表面蒸镀P型欧姆接触电极；4）在P型欧姆接触电极的表面形成p型层加厚电极；5）将衬底减薄；6）蒸镀N型欧姆接触电极金属；7）分割形成单个激光器的管芯。本发明的制备方法可以简化激光器的制作工艺，使激光器的脊型的侧壁形成金属接触，增大金属接触面积，减小接触电阻，降低工作电压，增加散热效果。

主权项

一种氮化镓基激光器管芯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）在衬底上外延生长N型GaN电极接触层、N型AlGaN光限制层、N型AlInGaN波导层、发光有源区、P型波导层、P型AlGaN光限制层和P型GaN电极接触层；得到氮化镓基激光器外延结构；2）根据氮化镓基激光器管芯的结构和相应的管芯分割道的设计尺寸，利用光刻胶或介质膜做掩膜，将上述氮化镓基激光器外延结构刻蚀至P型AlGaN光限制层，并刻去部分P型波导层，形成激光器的脊型结构；所述P型波导层、P型AlGaN光限制层和P型GaN电极接触层的厚度之和大于所述激光器的脊型结构的高度；3）然后在上述激光器的脊型结构的表面蒸镀P型欧姆接触电极，退火，使激光器的脊型表面和侧壁形成欧姆接触，其他地方形成肖特基接触；4）在上述P型欧姆接触电极的表面光刻、然后蒸镀金属形成p型层加厚电极；5）将衬底减薄到70~150 mm；6）然后在减薄的衬底表面蒸镀N型欧姆接触电极金属，形成良好的欧姆接触特性；7）沿设计好的管芯分割道将上述激光器管芯分割，形成单个激光器的管芯。