[发明专利]一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法有效
| 申请号： | 201210013248.2 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103203925A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 汤佳杰;罗乐;徐高卫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B32B27/00 | 分类号： | B32B27/00;B32B3/14;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，该方法首先提供一衬底，在所述衬底表面涂覆一层粘附剂；而后在所述粘附剂的表面涂覆光敏BCB，并光刻所述光敏BCB直至暴露出衬底，按前述相同手段并根据所需层数制备出至少一层的多个光敏BCB单元，形成作为介质层的BCB薄膜。本发明一方面减少升温降温过程中出现的热应力，降低了热应力对整片衬底的翘曲影响，同时由于光敏BCB单元间的热应力减少，从而单个光敏BCB单元产生的裂纹或其它可靠性问题不会蔓延到所有光敏BCB单元；另一方面，光刻形成的无BCB覆盖的槽，可作为划片道使用，以减少在划片时出现的BCB脱落的情况，即在不增加成本的前提下，有效地提升了可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 光敏 bcb 薄膜 可靠性 方法 | ||
【主权项】：
一种提升光敏BCB薄膜可靠性的方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：1)提供一衬底，在所述衬底表面涂覆一层粘附剂；2)在所述粘附剂的表面涂覆一层光敏BCB，并光刻所述光敏BCB直至暴露出所述衬底，制备出多个单层光敏BCB单元，形成作为介质层的BCB薄膜。
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