[发明专利]一种柱状凸点封装结构无效
申请号: | 201210014195.6 | 申请日: | 2012-01-17 |
公开(公告)号: | CN102543898A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 丁万春 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/00 | 分类号: | H01L23/00;H01L23/488 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 雷志刚;潘士霖 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种柱状凸点封装结构,包括:包括芯片、凸点下金属层、铜柱、氧化层和焊料凸点;所述芯片的上表面设有焊盘和钝化层,所述钝化层覆于芯片焊盘开口以外的上表面,所述焊盘上设有凸点下金属层,所述凸点下金属层上设有铜柱,所述铜柱的侧面裹有氧化层,所述铜柱的上方设有焊料凸点。本发明提高了焊料凸点的电性能和可靠性,适用于焊盘密间距、输出功能多的芯片级封装。 | ||
搜索关键词: | 一种 柱状 封装 结构 | ||
【主权项】:
一种柱状凸点封装结构,其特征在于:包括芯片、凸点下金属层、铜柱、氧化层和焊料凸点;所述芯片的上表面设有焊盘和钝化层,所述钝化层覆于芯片焊盘开口以外的上表面,所述焊盘上设有凸点下金属层,所述凸点下金属层上设有铜柱,所述铜柱的侧面裹有氧化层,所述铜柱的上方设有焊料凸点。
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