[发明专利]制造发光元件阵列的方法有效
申请号: | 201210014943.0 | 申请日: | 2008-10-22 |
公开(公告)号: | CN102569559A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 刘宗宪;陈昭兴;郭政达 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L27/15 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种制造发光元件阵列的方法,包含:提供基板;形成发光叠层于该基板之上,其中该发光叠层包含:第一半导体层,位于该基板之上;发光层,位于该第一半导体层之上;及第二半导体层,位于该发光层之上;形成至少一沟槽于该基板之上,其中该沟槽曝露部分该基板,并将该发光叠层分隔成至少一第一发光元件与第二发光元件;及形成绝缘层于该发光叠层与该沟槽之上,该沟槽的宽度不大于两倍的该绝缘层的厚度。 | ||
搜索关键词: | 制造 发光 元件 阵列 方法 | ||
【主权项】:
一种制造发光元件阵列的方法,包含:提供基板;形成发光叠层于该基板之上,其中该发光叠层包含:第一半导体层,位于该基板之上;发光层,位于该第一半导体层之上;及第二半导体层,位于该发光层之上;形成至少一沟槽于该基板之上,其中该沟槽曝露部分该基板,并将该发光叠层分隔成至少一第一发光元件与第二发光元件;及形成绝缘层于该发光叠层与该沟槽之上,该沟槽的宽度不大于两倍的该绝缘层的厚度。
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