[发明专利]外力检测方法和外力检测装置

摘要

提供一种能够高精度且容易地检测出施加在压电板上的外力的技术。在容器内悬臂支承水晶板。在水晶板的例如中央部分别在上表面和下表面形成激励电极。在水晶板的下表面一侧的前端部，形成通过引出电极与下表面一侧的激励电极连接的可动电极，与该可动电极相向地在容器的底部设置固定电极。将上表面一侧的激励电极和固定电极连接振荡电路。在水晶板上施加外力而弯曲时，可动电极与固定电极之间的电容变化，将该电容变化与水晶板的变形作为振荡电路的振荡频率的变化来掌握。另外，将外力的施加方向和沿着施加外力之前的水晶板的长度方向的可动电极的朝向所成的角度θ设定为30°～60°，优选40°～50°，然后进行测定。

主权项

一种使用传感器的外力检测方法，其特征在于：所述传感器包括：一端被支承在基座上的悬臂式的压电板；为了使该压电板振动，分别设置于该压电板的一面侧和另一面侧的一个激励电极和另一个激励电极；与所述一个激励电极电连接的振荡电路；设置于所述压电板中从所述一端离开的部位，且与所述另一个激励电极电连接的可变电容形成用的可动电极；和固定电极，其与所述压电板隔开间隔，按照与所述可动电极相向的方式设置并且与所述振荡电路连接，通过根据压电板的弯曲而与所述可动电极之间的电容变化，来形成可变电容，所述外力检测方法包括：按照与作为目标测定对象的外力的方向正交的面、和所述可动电极的所述压电板的长度方向所成的角度为30°～60°的方式，来设定所述传感器的工序；通过频率信息检测部检测出作为与所述振荡电路的振荡频率对应的频率信息的信号的工序；和根据在所述频率信息检测部检测出的频率信息，评价作用在所述压电板上的外力的工序。