[发明专利]高效多晶硅铸锭方法

摘要

本发明实施例公开了一种高效多晶硅铸锭方法，属于光伏技术领域。解决了现有的多晶硅铸锭方法生产效率低的技术问题。该高效多晶硅铸锭方法，包括投料、抽空检漏、加热、熔化、长晶、退火冷却；其中加热步骤中，先以真空模式与进气控制升至200mbar气体模式交替的方式，将加热功率由0kW逐步升至140kW，再将功率保持在140kW，利用进气控制使炉室内压力逐步升至600mbar，最后利用出气控制将炉室内压力保持在600mbar，温度升至1520℃以上；之后进行熔化、长晶、快速退火、冷却。本发明应用于改进多晶硅铸锭的生产效率。

主权项

一种高效多晶硅铸锭方法，其特征在于，包括：投料：将多晶硅料装入坩埚中；抽空检漏：将装有多晶硅料的坩埚投入铸锭炉内，合炉后进行抽真空检漏；加热：检漏通过后开始通电加热，先以真空模式与进气控制升至200mbar气体模式交替的方式，将加热功率由0Kw逐步升至140Kw，再将功率保持在140Kw，利用进气控制使炉室内压力逐步升至600mbar，最后利用出气控制将炉室内压力保持在600mbar，温度升至1520℃以上；熔化：在600mbar气体模式下，先将温度保持在1520℃以上，使多晶硅料稳定熔化，硅原料全部熔化后，将温度逐步降低至1450℃以下并保持温度的稳定；长晶：在600mbar气体模式下，将温度逐步降低至1400℃‑1410℃之间，同时将隔热笼逐步开启至15cm‑25cm之间，使硅晶体以一定速度定向生长；退火：在一定时间内，将隔热笼闭合，同时将温度降低至1400℃以下并在此温度保温一段时间，以消除硅锭内部热应力；冷却：逐步打开隔热笼，将硅锭冷却至400℃以下，出炉。