[发明专利]MEMS质量流量传感器无效
| 申请号： | 201210016318.X | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102564507A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 邵思 | 申请（专利权）人： | 上海华强浮罗仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69;G01F1/76 |
| 代理公司： | 上海浦东良风专利代理有限责任公司 31113 | 代理人： | 陈志良 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明为一种MEMS质量流量传感器，其特征在于：所述传感器为MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片的组成包括一对压焊块、一对感温元件和一对加热电阻器，所述的压焊块、感温元件和加热电阻器从外向内对称布置在芯片平面内，它们的顶端都连有热电堆，各热电堆之间相互连接，芯片的空余处都覆有不粘纳米涂层。本发明量程范围宽、响应速度快、灵敏度高、功耗低。 | ||
| 搜索关键词： | mems 质量 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS质量流量传感器，其特征在于：所述传感器为MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片的组成包括一对压焊块、一对感温元件和一对加热电阻器，所述的压焊块、感温元件和加热电阻器从外向内对称布置在芯片平面内，它们的顶端都连有热电堆，各热电堆之间相互连接，芯片的空余处都覆有不粘纳米涂层。
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