[发明专利]测量薄膜厚度和折射率的方法及装置无效
| 申请号： | 201210016692.X | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN102589452A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 黄佐华;宋亚杰 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/45 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 510631 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种测量薄膜厚度和折射率的方法及装置与应用。该方法为采用至少三束光束同时以不同入射角投射到薄膜样品表面同一点或位置，反射光束的强度由阵列光电探测器接收，再与入射光束光强比较，计算出各光束的反射率，最后与理论公式拟合得到待测薄膜的厚度和折射率。装置如下：沿着光轴，光源、透射光栅、光栏、聚光透镜、偏振器和样品旋转台依次排列；样品旋转台的轴心和光电探测器旋转平台的轴心重合，后者的直径大于前者的直径；位于光电探测器旋转平台上的光电探测器、信号采样放大和AD转换电路、计算机依次连接。本发明具有测量速度快及空间分辨率高的特点，可大规模对集成电路IC和/或功能薄膜器件进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 薄膜 厚度 折射率 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种测量薄膜厚度和折射率的方法，其特征在于包括以下步骤：采用至少三束光束同时以不同入射角投射到薄膜样品表面同一点或位置，反射光束的强度由阵列光电探测器接收，再与入射光束光强比较，计算出各光束的反射率，最后与理论公式拟合得到待测薄膜的厚度和折射率。
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